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张家港市华伟晟达机械有限公司

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科晶真空旋转涂膜机
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产品: 浏览次数:16科晶真空旋转涂膜机 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-05-26 16:05
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详细信息

科晶真空旋转涂膜机VTC-100PA产品概述:

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

主要特点:

真空吸附方式固定样件,操作简便。

使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。

根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

设有12组程序,每组包含6个运行阶段。

电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

50W/24V 直流电机

适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

科晶真空旋转涂膜机VTC-100PA参数:

电机功率:50W/24V

速度范围:500-10000rpm

程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段

增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s

时间范围:0-60s

吸盘:Φ19mm、Φ60mm

进气口:上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部分:上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,*高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。

更多详情请前往:

http://www.smt17.com/products/

https://www.chem17.com/st426699/

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